46核心提示： CPCI总线是工控机和外部电子专用设备研制的一种先进的接口技术，具有可热插拔、高开放性、在恶劣的工业环境中有高可靠性和易维护性等突出特点。由于在总线技术作了重大改进，使得CPCI工控机有高密度性等优点。在机械结
CPCI总线是工控机和外部电子专用设备研制的一种先进的接口技术，具有可热插拔、高开放性、在恶劣的工业环境中有高可靠性和易维护性等突出特点。由于在总线技术作了重大改进，使得CPCI工控机有高密度性等优点。在机械结构上，使用欧卡连接器和标准3U、6U板卡尺寸。还具有良好的通风性和抗震性，更换和维修板卡也极为方便。
涂胶台是半导体工艺光刻中的重要设备，通过主轴的旋转，滴在晶片上的光刻胶在离心力的作用下由轴心向径向飞溅出，而粘在晶片表面的胶受附着力的作用粘附在晶片表面，在高速旋转中胶中溶剂不断挥发，形成一层均匀的胶膜。这个工艺要求主轴的旋转角速度和涂胶臂的径向移动线速度配合的恰到好处。
EVG涂胶台采用EKF公司的CPCI工控机，很好地实现了这种技术要求。它不使用PLC，直接用工控机控制各智能模块，该设备使用了3UCAN卡和CAN总线连接输入输出信号，包括模拟信号和数字信号。用3UCOM卡进行通讯，6U电动机驱动卡控制各个电机运动，主轴电动机是通过附属接口卡上的COM1进行通讯，然后由电动机控制模块实时控制各运动参数。
